TOTO 這個以高端廚廁產品聞名的日本品牌，近年來不僅專注於傳統業務，更憑藉其獨特技術在半導體產業中嶄露頭角。該公司研發的靜電吸盤（Electrostatic Chuck, ESC），正逐步成為現代晶圓廠內不可或缺的設備。這項技術本來用於廚廁產品，現已成功轉化應用至半導體生產領域，協助晶圓在製程中保持穩定，提高生產效率。
靜電吸盤是一種透過靜電力固定物件的設備，在半導體製造過程中主要用來固定晶圓，確保其在極端精密的製程環境中不會移動。隨著晶圓尺寸的增加，以及極紫外光（EUV）微影技術的應用提升製造精度，對這類高性能固定裝置的需求也隨之上升。TOTO 原本在廚廁產品上使用靜電技術，幫助減少水垢及污垢附著，如今這項技術在晶圓製程設備上發揮出新的價值。TOTO 透過材料科學的創新，使其靜電吸盤具有更強的耐熱性及耐化學性，能夠應對半導體製造過程中的高溫環境與腐蝕性化學物質。此外，其獨家技術讓吸盤在吸附及釋放晶圓時更加穩定，減少對晶圓的損害，提高良率。
隨著半導體需求持續上升，先進製程技術的發展推動了對更精密設備的需求。TOTO 透過這項創新技術，成功打入半導體供應鏈，並獲得全球晶圓廠的關注。目前，台積電（TSMC）、三星（Samsung）及英特爾（Intel）等半導體大廠皆積極尋求提升製程穩定性的方案，而 TOTO 的靜電吸盤成為備受青睞的選擇之一。TOTO 透過跨產業技術應用，發展出多種高科技材料，並且不斷投資於半導體產業的需求研究。內部專門團隊負責半導體相關產品的開發，並與業界龍頭企業合作，確保技術能夠符合晶圓製造業的嚴苛標準。
來源: NIKKEI
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