湖北武漢東湖國家自主創新示範區日前透過微博官方帳號「中國光谷」公佈,當地國家重點高新科技企業華工科技,近日成功製造出中國第一部使用 100% 國產核心部件的高端晶圓切割機。
半導體晶圓是一種硬脆的物料,以一塊 12 吋的晶圓為例,就有數千至數萬顆晶片,一般要將晶圓切割或將晶片分離都會用上機械或激光的方式進行,而物質接觸或高速運動所產生的熱力和崩邊,都會對晶片的性能構成影響,所以控制熱力影響的擴散範圍和崩邊尺寸至為重要。
華工科技旗下的華工激光表示,在經過一年的努力後,他們的半導體晶圓切割技術實現升級,切割線闊度降至 10 微米內,崩邊尺寸降至 5 微米內,熱影響更降至零。新技術令切割線闊度減少,晶圓能夠擁有更高的整合度,直接提升半導體生產的經濟效率。
資料及圖片來源:UDN